







离子镀基本原理:在真空条件下,采用某种等离子体电离技术,使镀料原子部分电离成离子,同时产生许多高能量的中性原子,在被镀基体上加负偏压。这样在---负偏压的作用下,离子沉积于基体表面形成薄膜。
九、离子镀的工艺过程:蒸发料的粒子作为带正电荷的高能离子在高压阴极(即工件)的吸引下,以---的速度注入到工件表面。

此外,多弧镀涂层颜色较为稳定,尤其是在做 tin 涂层时,每一批次均容易得到相同稳定的金黄色,令磁控溅射法---。多弧镀的不足之处是,在用传统的 dc 电源做低温涂层条件下,漯河镀钛加工选,当涂层厚度达到0.3μm 时,沉积率与反射率接近,成膜变得非常困难。而且,薄膜表面开始变朦。多弧镀另一个不足之处是,由于金属是熔后蒸发,因此沉积颗粒较大,致密度低,处理镀钛加工选,耐磨性比磁控溅射法成膜差。

靶材承受的功率密度是有限的.靶面温度过高会导致靶材熔化或引起弧光放电.在直接水冷的情况下,金属靶材的靶功率密度允许值为10~30w/cm2.根据选定的靶电压和允许的靶功率密度,即可确定靶电流密度.
降低ar压强有利于提高镀膜速率,还有利于提高膜层结合力和膜层致密度.磁控溅射的ar压强通常选为0.5pa,真空镀钛加工选,气体放电的阻抗随ar压强的降低而升高.磁控溅射时,可以适当调节ar压强,

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